数据显示，月日7月24日，华夏获净华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购4362.28万元，中证位居当日股票ETF净流入排名117/1273。半导备主最新规模85.07亿元，体材题前一日规模82.27亿元，料设流入当日资金净流入额占前一日规模的申购比例为0.53%。

近5日，元位居华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回2.6亿元，当日位居股票ETF净流出排名第31/1273。股票近10日，排名华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购5.66亿元，月日位居股票ETF净流入排名第84/1273。华夏获净近20日，中证华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购42.85亿元，半导备主位居股票ETF净流入排名第19/1273。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）成立于2023年10月9日，基金全称为华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模部分，截止7月24日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）最新份额为81.38亿份，最新规模为85.07亿元。回顾2025年12月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）份额为4.9亿份，规模为7.91亿元。即该基金今年以来份额提高1561.96%，规模提高974.86%。

流动性部分，截止7月24日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）近20个交易日往往方式成交金额199.11亿元，日均成交金额9.96亿元；今年以来，134个交易日，往往方式成交金额513.17亿元，日均成交金额3.83亿元。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）现任基金经理为单宽之。单宽之自2024年6月11日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益243.99%。

最新定期报告显示，华夏基金（562590）重仓股涵盖中微公司、北方华创、首先川科技、拓荆科技、华海清科、中科高效测、江丰电子、华峰测控、芯源微、沪硅产业，持仓占例如下：

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF涵盖国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购状况如下：

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